中古 SVG 88 #293816345 を販売中

SVG 88は、さまざまな製造プロセスで使用されるように設計された業界標準のフォトレジスト機器です。フォトレジストシステムとは、シリコンウェーハやその他の材料を含む基板上にパターンを作成するために使用されるエッチングプロセスです。88は、サブミクロン分解能でパターニングを容易にするための高度なフォトリソグラフィック技術を採用しています。このプロセスは、シリコンウェーハのような基板表面に「フォトレジスト」を適用することから始まります。フォトレジストは、設計要件に応じて正または負のタイプにすることができます。基板は、その後、マスク（「マスターパターン」）を使用して、極端な紫外線（EUV）にさらされます。この過程で、フォトレジストはマスターパターンに従って変換され、基板は影響を受けません。次のステップは、基板からフォトレジストの露出していない部分を除去する「開発」です。これは、湿式化学エッチング、ドライエッチング、またはin-situ「リフトオフ」プロセスを介して行うことができます。開発ステップの結果は、基板上の望ましいパターンです。基板上にパターンが形成されると、イオン注入やサーマルアニーリングなどの追加プロセスが実行され、設計をさらに変更および精製することができます。例えば、これらのプロセスは、基板上に複数の層と3次元構造を作成するために使用することができます。SVG 88は、業界をリードする解像度と精度を提供する高度で精密なフォトレジストユニットです。この機械は高精度の回路および部品の製造にとって理想的で、高性能プロダクトを作り出すためにさまざまな企業で広く利用されています。