中古 SVG 88 #293770159 を販売中
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SVG 88は、Suedvac GmbHが半導体ウェーハ製造用に開発した、いわゆるフォトレジスト専門機器です。具体的には、88系は半導体リソグラフィにおいて高精度のイメージングパターン伝達法を提供するように設計されています。SVG 88は、さまざまなサイズのウエハに複雑なパターンを転送することができます。また、一連の独立したパラメータを設定して、イメージングとパターニングプロセスを優れたレベルで制御することもできます。88デバイス自体は投影アライナーの一種です。2照明、現在のoptobinding方法の分解能の限界を減らすように設計されている干渉顕微鏡。このツールは偏光ビームを使用してウェーハに干渉パターンを作成し、ウェーハの表面の正確なアライメントを統合エンコーダで制御します。SVG 88は、パターニングプロセスを効率的に簡素化し、画像品質と精度を最適化するために、さまざまなパターニングパラメータをオンザフライで調整できます。また、ポジティブフォトレジスト用とネガティブフォトレジスト用の2つの異なるイメージングモードを使用することもできます。88ユーザーはまた、付属のユーザーフレンドリーなデジタルインターフェイスから恩恵を受けます。この直感的なグラフィカルインターフェイスは、複雑なパターン、形状、およびジオメトリの設計をスナップにするインタラクティブなデータエントリーソリューションを提供します。さらに、SVG 88はパターン補正機能や画像マージングツールなどの高度なデザインツールも備えています。88マシンは、半導体ウェーハ製造に関わるあらゆる組織のための信頼性の高い高度なフォトレジストツールです。これは、信頼性の高いデバイスにするだけでなく、市場で利用可能な他のフォトレジストシステムと比較しても、費用対効果の高いソリューションのセットを誇っています。
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