中古 SVG 8632 #9396691 を販売中

SVG 8632は光学リソグラフィープロセスに使用されるフォトレジストシステムです。ポジティブトーンをイメージし、直接書くことができる独自の有機ソルゲルレジストと、溶剤ベースのポジティブトーン開発者で構成されています。レジストの光活性成分は、EUVおよびDeep-UV放射の存在下で堅牢であり、レジストを非常に短い波長の放射にさらして細かい分解能を得ることができます。レジスト自体は、非イオンポリマーと、ウェーハ上にコーティングされたときに高品質の画像パターンを形成することができるヘテロサイクリックトライデリバティブで構成されています。従来の酸触媒レジストの多くは、大きな分子種や二酸化物などの特定の汚染物質種に対する抵抗性に限界がある。しかし、8632のソルゲル抵抗は、このような汚染物質に非常に抵抗性があり、耐久性が高く、優れたイメージング特性を可能にします。レジストSVG 8632開発者を開発するために利用されます。それは一度活性化された有機アミン化合物の周りに基づいています。このプロセスにより、ウェーハの微細で正確なパターン形成が可能になりました。8632は、高解像度プロセスを念頭に設計された優れたレジストシステムです。その独特なソルゲルレジスト組成は、28 nm以下の特徴サイズの高感度かつ正確なイメージングを可能にし、通常のリソグラフィ抵抗よりもはるかに優れています。さらに、大気汚染や汚染に対する堅牢性により、耐久性が高く、大量生産に適しています。