中古 SVG 8632-CTD-D #293641896 を販売中

SVG 8632-CTD-Dフォトレジスト装置は、自己整列した3次元パターンを高精度に作成するために設計されたハイエンドのフォトリソグラフィーシステムです。高精度なパターンを作成するために高度な深紫外線とG線光源を使用した単露光ユニットです。このマシンは、DCTD Digital Diffractive Output Format （DDOF）ステージによって変調された深紫外線光源を使用して動作します。光源を感光基板上にスキャンし、被曝した部分を深紫外線にさらします。基板の露出部分は、適用されるフォトレジストマスクに基づいてレリーフパターンを形成します。DCTD DDOFステージは、このツールの重要なコンポーネントです。正確なパターンアライメント、焦点、強度、放射線ビームの形状などのイメージングパラメータの最適化を提供し、ユーザーがレリーフパターンのエッジと構造を調整することができる多露光段階です。それはまたユーザーが深紫外線の露出を調節することを可能にします。この機能により、ユーザーはエラーを最小限に抑えて高解像度のパターンを作成できます。このアセットには、深紫外線によるパターンを検出するためのイメージングセンサーも装備されています。このセンサは、自動補正機能を使用してパターンの小さな変化を検出するためにも使用できます。これにより、ユーザーはパターン形成の進行状況を監視し、開発プロセス中に必要な調整を行うことができます。全体的8632-CTD-D、フォトレジストモデルは、非常に高い精度で3Dパターンを作成するための高度で信頼性の高いフォトリソグラフィ機器です。高度なDeep-UVおよびg-line光源とDCTD Digital Diffractive Output Format （DDOF）ステージを備えており、精度を最大化し、最終パターンの誤差を低減します。イメージングセンサーと自動補正機能により、難易度を最小限に抑えて高精度なパターンを作成できます。