中古 SVG 8626 #9396687 を販売中

製造業者
SVG
モデル
8626
ID: 9396687
ウェーハサイズ: 5"
Tracker system, 5".
SVG 8626は、高度なフォトマスクの製造に使用するために設計されたSVGケミカルによって開発されたフォトレジスト装置です。このシステムは、独自のフォトレジスト製剤、新しいフォトマスク製造プロセス、および3層メッキ技術で構成されています。8626のフォトレジスト製剤は、優れた分解能を持つ非常に薄いレジスト層を生成するように設計されています。このレジスト処方により、フォトマスクの特徴が小さくなり、アスペクト比が高くなり、ビア充填機能が向上し、微細かつ超微細な機能の解像度が向上します。このレジストはまた、その高い均一性と粘度の一貫性のためにめっき中の画像の歪みを低減することができます。SVG 8626のユニークなフォトマスク製造プロセスでは、フォトレジストと屈折率マッチングカバライトを使用してフォトマスクを作成します。このプロセスは、3層メッキ技術によって特徴付けられ、特徴の正確な公差が保証され、画像解像度が向上し、歩留まり損失が低減されます。プロセスの最初の層は、フォトマスクのパターンを定義するために使用されるフォトマスクです。光はフォトマスクに適用され、フォトレジストなどの感光材料にさらされます。プロセスの2番目の層は、フォトマスクの均一性を向上させ、ビアフィルの寸法を改善するために使用されるポサイトです。第三の層は、環境および熱応力からフォトマスクを保護する保護層です。全体として、8626のフォトマスク製造プロセスは、高解像度、画像歪みの低減、ビア充填性能の向上、歩留まり損失の改善をもたらします。さらに、処理中の熱および環境ストレスを低減することで、フォトマスクの寿命を延ばし、腐食を防ぎます。したがって、SVG 8626フォトレジストユニットは、フォトマスクの製造に使用するための高度で信頼性の高いフォトレジストマシンです。
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