中古 SVG 8626 #293825861 を販売中

SVG 8626は、集積回路および半導体の製造に使用される高度な高解像度フォトレジスト装置です。フォトリソグラフィ技術を利用して、特殊なマスクからシリコン基板にパターンを転送します。このフォトレジストシステムは、高解像度で再現性のあるプロセス精度を必要とするアプリケーション向けに特別に設計されています。8626ユニットは、光学メカニカルマスクアライナー、フォトレジストプロセッサ、フォトマスク、コンピュータインターフェイスを含むその他のコンポーネントで構成されています。マスクアライナーを使用して、フォトマスクを基板上に配置し、高出力のUV光源にさらします。マスクからの画像が基板に露出し、露出した部分が開発され、露出した基板の表面からフォトレジストが除去されます。フォトレジストプロセッサは、フォトレジストを基板に配置して分配するために使用されるSVG 8626の特定のモジュールです。このプロセッサは、フォトレジスト層の均一性と厚さを正確に制御することができ、また、残留材料の蓄積を低減するために、基板の露出領域をスピンコートするために使用することができます。この機械で使用されるフォトマスクは専門にされた水晶ガラスの組み立てられ、摩耗を減らすために表面で保護コーティングを特色にします。マスクのイメージは複雑な幾何学模様の形をとり、金属や他の材料のいくつかの個々の層で構成されています。8626は、あらかじめ校正されたプログラムやソフトウェア制御の露光照明、マスクの基板への精密アライメントなど、洗練された安全性と制御機能を備えています。また、コンポーネントが必要な安全要件を満たしていない場合は、アセットを自動的にシャットダウンする統合インターロックツールも備えています。全体として、SVG 8626は高度で信頼性の高いフォトレジストモデルであり、優れた解像度と再現性の高いプロセス精度を提供します。この機器に統合された高度な安全および制御機能により、プロセスが一貫した信頼性を維持します。