中古 SVG 8600 Series #9294223 を販売中

製造業者
SVG
モデル
8600 Series
ID: 9294223
Coater / Developer / Scrubber track system.
SVG 8600シリーズは、パターニングプロセスを最適化するために開発された高度なエネルギー技術で構成されたフォトレジスト機器です。高解像度フォトレジストイメージングを提供し、さまざまな用途に使用できます。8600シリーズシステムは、高度なレーザー誘導およびフィルムイメージング技術を使用して、最高の精度と透明性でナノスケールパターンを形成します。これは、ユーザーが迅速かつ簡単に設定を調整し、リアルタイムでプロセスを監視することができ、インタラクティブなLCDタッチスクリーンを備えています。高速多軸基板カルーセルを採用し、5mm〜150mm幅の基板にわたって高速スループットを実現します。また、ステッピングモータ駆動の高速フォーカス調整機能を備え、精密かつ再現性の高い加工が可能です。SVG 8600シリーズは、様々なフォトレジスト材料や基板に使用するために設計されています。ユーザーは幅広いレジスト厚さから選択でき、0。2 µmまでの一貫した解像度を提供する迅速な露出パラメータを提供します。その波長の汎用性は、UVからVISスペクトル全体のパターニング精度を提供し、その強力なデザインは、最大200Wのタングステンハロゲン照明に対応します。優れたイメージングと露出に加えて、このタイプのフォトレジストマシンは、堅牢な安全機能を必要とします。8600シリーズは精密な抵抗の沈殿および開発者の混合物のためのnovacuumの基質の露出、安全なレーザー操作および投薬システムを含んでいます。このフォトレジストツールには、レーザー安全保護インターロックも装備されており、異常照射が検出されたときに安全システムを監視および活性化します。SVG 8600シリーズは、高度なパターニングプロセスでの使用に最適な効率的なフォトレジストアセットです。このモデルは、インタラクティブスクリーン、迅速なフォーカス調整、幅広い基板、材料、レジストの厚さで、精度と透明性において最大限のものを提供します。8600シリーズは、レーザー誘導およびフィルムイメージング技術を活用して、パターニングエラーを最小限に抑え、より一貫した信頼性の高い製品を提供します。
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