中古 SVG 8600 Series #9266232 を販売中
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ID: 9266232
ウェーハサイズ: 4"
Coater / Developer system, 4"
Dual inputs
(3) 8600 Series controllers
Single coat module (No cup)
Single hot plate
Single cool plate
Single receive indexer
Dual send indexers
Resist canister
No pump.
SVG 8600シリーズは、薄膜回路の製造用に設計されたフォトレジスト装置です。ゲート、コンタクト、ビア、拡散層などの分解能クリティカルな層に優れたパターニング性能を提供します。この費用対効果の高い低メンテナンスシステムは、信頼性の高い高性能フォトレジストユニットを必要とする中小メーカーに最適です。このマシンは、高解像度の円筒形スキャンヘッドとスマートマスクアルゴリズムを備えており、優れたパターニング精度を実現しています。また、printarea全体にわたって一貫した露出を確保するための高度な露出制御ツールを備えています。8600シリーズでは、0。7 μ mおよび40 μ mの解像度でレイヤーをパターン化できます。また、定期的な、クロス、および複数の形状の特徴を含むフィルム形状の範囲にも対応しています。このアセットはユーザーフレンドリーに設計されており、リアルタイムのグラフィカルユーザーインターフェイスを備えており、石英の移動と露出設定の便利な構成を保証します。SVG 8600シリーズは、さまざまなフォトレジストに最適化されています。標準的な正と負のフォトレジスト化学や、2層の露出を必要とする化学物質を扱うように設計されています。365nm〜450nmの露光波長で動作可能で、幅広いフォトレジスト化学との互換性を確保します。効率的で信頼性の高い8600シリーズのフォトレジストモデルは、さまざまな回路製造アプリケーションに最適なソリューションを提供します。優れたパターニング性能とユーザーフレンドリーな操作を提供することで、優れたコストと時間効率を提供し、中小メーカーにとって理想的な選択肢となります。
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