中古 SVG 8600 series #84863 を販売中
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SVG 8600シリーズは、半導体、MEMS、およびパッケージング業界のディープUVおよびX線バックエンド用に設計されたフォトレジスト機器です。このプラットフォームにより、ユーザーは非常に高い均一性と解像度で広い領域にコートすることができます。8600シリーズは、高いスループット、効率、再現性を必要とするプロセスに最適です。このシステムは、幅広いフォトレジストやその他の液体の非常に正確なコーティングを提供します。高性能コントローラ、温度調節、換気、調整可能なビジョンオートフォーカスを搭載し、高い性能と生産性を備えています。SVG 8600シリーズには、セットアップ時間を短縮し、手動制御に関連する潜在的なエラーを低減するように設計された強力なグラフィカルユーザーインターフェイス(GUI)が付属しています。それに容易なアクセシビリティおよびトラブルシューティングのためのタッチ画面LCDのモニターがあります。このユニットは、正確な機能登録のための強力なアライメントツールと、精密なフロー制御を可能にする微細な制御マシンだけでなく、可変スピードモーターと調整可能なビジョンオートフォーカスをサポートしています。8600シリーズはrectilinear上のコーティング、ナノスケールの詰物および電気接触を含むいろいろなフォトレジストの適用を、扱うように設計されています。また、空気中、微粒子、液体の汚染物質の影響を最小限に抑えるために、汚染制御も利用できます。さらに、このツールはプログラム可能な2次元運動機能を備えており、複雑な構造の高解像度パターニングを可能にします。SVG 8600シリーズは、一貫した高品質の結果を提供するように設計されており、統合された安全機能と過酷な化学物質や高温に耐える堅牢な設計を備えています。また、腐食に耐性のある部品や材料で、清掃やメンテナンスも簡単です。さらに、オプションのプロセス自動化により、オペレータの疲労を軽減し、精度を向上させます。全体として、8600シリーズは、半導体およびMEMS業界のバックエンドプロセス向けに設計された強力で汎用性の高いフォトレジストモデルです。高い精度と均一性、直感的なユーザーインターフェイスとプロセスオートメーション、さまざまなフォトレジストアプリケーションを処理する能力を提供します。高度な安全機能と堅牢な構造により、高いスループットと再現性を必要とする深紫外線およびX線プロセスに最適なソリューションです。
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