中古 SVG 8600 / 8800 Series #9189849 を販売中

SVG 8600/8800フォトレジストシステムのシリーズは、半導体製造に使用される高解像度、産業用グレードの完全自動ウェーハ製造ツールです。この装置は、高品質で高解像度のフォトリソグラフィを作成することを目標に、デバイスウェーハ上のフォトレジスト層をイメージ、開発、エッチングするように設計されています。8600/8800シリーズは2つの主要な部品から成っています；エッチング室とウェットベンチ。エッチングチャンバーはフォトレジストイメージングおよびエッチング処理を行い、ウェットベンチはフォトレジストストリップやクリーニングなどのポストエッチング処理を行います。このシステムは、エッチング室からウェットベンチにウェーハを迅速に転送することができ、オペレータは製造プロセスのさまざまなステップで複数のウェーハを迅速かつ効率的に処理することができます。8600/8800は、スムーズな操作と一貫した結果を保証するために、いくつかの高度な機能を備えています。これには、ハイエンドの光学技術とレーザー技術を活用してウェーハ上の回路パターンを正確にキャプチャする最先端のレーザースキャナーモジュールが含まれます。さらに、このユニットは、高度なアルゴリズムと高スループットを通じて正確に複雑な経路を処理することができます。革新的な「マルチレイヤー機能」により、8600/8800は複数のデバイスレイヤーを一度にイメージしてエッチングすることができ、高品質な製品を作成しながら効率を高めます。SVG 8600/8800シリーズは、効率的で柔軟な操作オプションを提供します。これは完全にプログラム可能で、ユーザーはプロトタイプと生産レベルの両方の実行にまったく同じプロセスを使用することができます。直感的なグラフィカルインターフェイスにより、オペレータは理想的な結果を得るために設定をカスタマイズすることができます。8600/8800マシンはまた、標準的なフォトレジスト材料の広い範囲と互換性があり、異なる生産シナリオに非常に汎用性があります。8600/8800シリーズのフォトレジストシステムは、品質管理と安全性を確保するため、数多くの安全センサーと緊急停止機能を備えています。また、空気中の粒子をフィルターして捕捉するパーティクルマネージメントツールで充電され、優れたクリーンルーム材料を保証します。さらに、この資産は遠隔で監視されるように設計されており、操作を簡単に監督することができます。SVG 8600/8800フォトレジストシステムのシリーズは、信頼性が高く、高性能な結果を提供し、操作を簡素化します。その高度な機能と機能を通じて、それは半導体産業のリーディングファブリケーション技術であり続けています。