中古 SVG 86 #9214254 を販売中

SVG 86は、デジタルフォトリソグラフィ用途向けに設計されたフォトレジスト機器です。フォトマスクと組み合わせて半導体製造のためのシリコンウェーハ上のパターンを生成する多層感受性フィルムをベースとした高効率ネガティブフォトレジストソリューションです。86フォトレジストシステムは、3つの異なるコンポーネントで構成されています。画像可能なレジスト層は、紫外線の異なる波長に敏感なポリイミドアクリレートフィルムで構成されています。それはそれが露出される光の波長に敏感な光活性化合物を含んでいます、それはフォトマスクで作成されたパターンに応じて選択的に硬化またはクリアすることができます。ユニットの2つ目の成分である、イメージ可能な接着層は、レジスト層をSiウェーハの表面に結合し、フォトリソグラフィで使用されるパターンの適切なアライメントを保証する薄い金属層です。機械の3番目のコンポーネントであるハードベーク層は、フォトリソグラフィの露出と処理手順に従って、想像可能なレジスト層を強化するために使用されます。このレイヤーは、処理中に作成されたパターンを保存するためにも重要です。全体として、SVG 86フォトレジストツールは、デジタルフォトリソグラフィーアプリケーションでパターンを作成するための効率的で信頼性の高いソリューションです。高感度、高精度、画像定義を提供し、さまざまなフォトリソグラフィ用途に使用できます。堅牢なコンポーネントと設計により、高速で効率的なパターニングに使用でき、最新のフォトリソグラフィ技術の要件を理解できます。