中古 SVG 86 #9214252 を販売中

SVG 86は、微細加工装置の製造に使用されるフォトレジスト装置です。金属、プラスチック、シリコン基板など様々な素材で高精度、高アスペクト比を実現する高性能な非接触型フォトリソグラフィーシステムです。このユニットは、基板表面の均一で再現性の高いカバレッジを非常に高い精度で保証する革新的で特許取得済みの短波ワクサムガスソース（SVG）技術に基づいています。86年には、真空チャンバー内の定圧で超冷却された高貴なガスを保持し、その後基板特有の光硬化化合物を基板材料に解放する短絡抵抗パルスによって照らします。これらの化合物は、SVG 86の特殊な光パターンにさらされたときに基板上に急速に硬化し、最も複雑なパターンでシャープな特徴、高いアスペクト比、優れた底壁定義を生み出します。86は汎用性の高いマシンであり、プリマスキングステップを必要とせずに、1つのステップで目的の構造を直接構成することができます。言い換えれば、このツールを使用すると、実際の露出前に追加の前処理を行うことなく、基板表面の露出を直接形作ることができます。これにより、精密なデバイス構造の高速かつ効率的な生産と、単一のステップでの複雑な機能の効率的なリソグラフィが可能になります。この資産は、集積回路チップ、ナノギャップ、エレクトロメカニカルスイッチ、ディスプレイ、パッケージング、MEMSデバイス、およびその他の関連技術の製造に広く使用されています。SVG 86は、プレマスキングステップがなく、基材への露出エネルギーを調整できるため、非接触フォトリソグラフィープロセスに最適なソリューションです。86は高精度の装置製作のための理想的な解決であり、費用、時間および正確さの点で大きい利点を提供します。リソグラフィ工程の再現性を最大限に高め、必要なデバイス形状を最高レベルの精度で正確に生成します。高品質で効率的で信頼性の高い性能を備えたSVG 86は、あらゆる高精度リソグラフィ用途に最適なソリューションです。