中古 SVG 86 #9181739 を販売中

SVG 86は、光学マイクロチップの設計と製造に使用する「フォトレジスト」装置です。それは二層フィルムシステムです；第1層は、紫外線（UV）や深紫外線（DUV）などの高エネルギー光源からの露出に敏感なフォトレジストです。第2層は反射防止（AR）層で、反射による歪みを軽減または除去するのに役立ちます。86単位はポリマーのフォトレジストの特別な組合せから成っています。基板との密着性に優れ、高解像度の複合レジストマシンを形成します。この組み合わせは、画像の解像度を高めるだけでなく、水分、温度、化学環境などの変数に対する感度を低下させます。SVG 86ツールは、高度なマイクロエレクトロニクスデバイスのパターニングに最適化されています。そのため、スクリーニング可能な正と負の抵抗の組み合わせを使用して、感度と反射率の最低レベルで最高の解像度を得ることができます。86フォトレジストアセットは、ArFエキシマーレーザーやDUVエキシマーソースなど、さまざまな露光源に適しています。SVG 86モデルの主な利点は、水分、温度、化学環境などの環境変数や物理変数の存在下でも、その高解像度と低感度が維持されていることです。これは、機器に使用されるレジストの組み合わせの特別な特性によるものです。さらに、他のレジストと比較して、86は基板へのレジストの接着性を向上させ、パターン化された金属層の接着性を向上させます。SVG 86システムにまた低い特徴の高さおよび低いCDの変化の均一な薄膜のプロフィールを、作り出す容量があります。この均一性は、ナノスケールのレベルで一貫した構造を作成するのに役立ちます。基板へのレジスト層の接着性が向上することで、次のパターニング段階でのフレーク、剥離、割れのリスクを低減できます。また、高誘電率での高解像度イメージングを必要とする「ステッパー」用途にも86台のユニットを使用できます。パターンレイヤーを最適化して照明領域のフラックスを増やすことができ、よりシャープな機能とより良いパターニングを可能にします。全体的に、SVG 86マシンは、基板への優れた接着性と微細な機能と高解像度を備えた正確なリソグラフィック微小回路を生成するように設計された高度なフォトレジストツールです。非常に複雑なポリマーを組み合わせた86は、小型で高解像度の電子デバイスを製造するための信頼性と費用対効果の高い資産です。