中古 SVG 86 #9163180 を販売中
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ID: 9163180
ウェーハサイズ: 6"
Double coater, 6"
Semi flat wafers
Cassettes: Fluor ware
Coater wafer direction: Left to right
Coater with MYKROLIS IntelliGen 2 Pump
Coater exhaust with auto-damper
Hardware:
SMC Digital vacuum sensor
Coater bottom EBR with flow meter
Does not include:
Coater with catch-cup-rinse
Thru-track interface to pe micralign riro
MICROBAR chemical cabinet
CTD
CTR
Vacuum bake wafer prime
Coater spinner with servo pack
Coater dispense line with flow meter
Coater top EBR with flow meter
Coater catch-cup-rinse with flow meter
ADS Resist reservoir system
No automation
Power supply: 415 VAC, 3 Phase
2010 vintage.
SVG 86は、シリコンバレーグループ(SVG)が半導体産業で使用するために開発したフォトレジスト機器です。それは信頼できる端の決断および露出の緯度の優秀な印刷の結果を、提供する単一の写真、流動性がある抵抗です。システムは、フォトレジスト材料、イメージマスク、フォトレジスト開発ソリューション、および化学処理ユニットで構成されています。フォトレジスト素材を半導体ウエハ表面に塗布し、イメージマスクから紫外線(UV)を照射します。光はレジストの特定の部分を溶解させ、他の部分はそのままである。残りの部分は、ウェーハに転送されるパターンを形成します。86は材料の一貫した厚さおよび均一な端の決断の高解像度のイメージを作り出すように設計されています。光の感度が低いため、高輝度の光にさらされながらも、きれいで正確な画像が得られます。耐薬品性に優れ、漂白、腐食、エッチングにも耐性があります。SVG 86は、さまざまな半導体製造プロセスで使用されています。マイクロエレクトロメカニカルシステム(MEMS)、マイクロコントローラ、統合チップセットなど、さまざまなコンポーネントを作成するために使用されます。フォトレジスタ、薄膜トランジスタ、発光ダイオード(LED)の製造にも使用されています。また、太陽電池や太陽電池をパターン化するためにも使用されます。この機械は、大量および高精度の製造に適しています。これは、ひずみシリコン、ゲルマニウム、化合物半導体、ナノ構造などの先端材料の製造に一般的に使用されています。このツールは使いやすく、最小限のオペレータトレーニングが必要です。86は、さまざまな半導体アプリケーションに適した手頃な価格のフォトレジストソリューションであるように設計されています。信頼性が高く、欠陥率が低く、歩留まりが高い。これにより、大量生産に最適であり、完成品の信頼性と性能を向上させます。
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