中古 SVG 86 #293814153 を販売中

SVG 86
製造業者
SVG
モデル
86
ID: 293814153
ウェーハサイズ: 6"
Coater system, 6".
SVG 86は、高解像度、高忠実度の画像を作成するために設計されたデジタル化フォトレジスト機器です。フォトレジストは、光にさらされるとより溶けやすくなる材料であり、半導体からフラットパネルディスプレイまで、さまざまな基板上に回路パターンを作成するために使用することができます。86システムは、光学近接補正(OPC)と呼ばれる独自の技術を使用して、従来のフォトリソグラフィに固有の問題に対処します。OPCはコンピュータを使用して露出された材料上の光のパスを導き、ユーザーがチップまたは表示上の特徴のサイズ、形、および配置を制御し、調節することを可能にします。SVG 86ユニットは、多角形と線形の両方の特徴を形成することができる波長355nmのデュアルビームスキャンYtterbiumレーザースキャナを使用しています。このレーザービームは、基板の上にあるフォトレジスト層に正確に焦点を当てており、幅は0。8nm以下です。スキャナからの光を使用して、サーフェスに転送できるパターンを作成し、図形、線、およびテキストを作成します。86マシンには、希望の最終結果に必要なフォトレジストの種類と量を決定するために使用されるフォトレジストディスペンスツールもあります。ノズルで基板上にどれだけのフォトレジストを配置するかを制御することで、ユーザーは希望するパターンを表面にインプリントすることができます。また、SVG 86には検査アセットと計測ステーションが装備されており、作成されたパターンの精度を確保するのに役立ちます。プロセスは迅速かつ高い精度で実行され、ユーザーは従来のリソグラフィ技術によって生成された歩留まりよりもはるかに大きい最大99。993%の生産歩留まりを生産することができます。86フォトレジストモデルは、複雑な形状と高精度で画像やパターンを作成するための優れたツールです。OPC機能を利用することにより、ユーザーは、追加の機器を必要とせずに、最小限のステップで複雑な機能や形状を作成することができます。高い生産歩留まりとコスト効率により、高品質の画像を作成するための実行可能で経済的なソリューションをお探しのお客様に最適です。
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