中古 SVG 86 Series #160461 を販売中
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SVG 86シリーズは、Specialty Photoresists、 Inc。が製造するフォトレジスト機器です。86シリーズは、良好な接着性、高分解能、優れた耐薬品性などの優れたフィルム特性を提供するように設計された高性能ポリマーです。SVG 86シリーズは、高品質の薄膜成膜とパターニングを可能にするために、ポリマーとフォトイニシエータのユニークな組み合わせを利用しています。86シリーズは、マイクロエレクトロニクスアプリケーションに強力で明確な解像度を提供する、スピンオンソリューションベースのフォトレジストシステムです。SVG 86シリーズは、3種類のベースポリマーで構成されており、フィルム特性のばらつきを考慮し、用途に応じたフィルムの仕立てが可能です。86シリーズはまた、レジスト製剤内で使用される様々なフォトイニシエータを介して調整するだけでなく、特定のアプリケーションニーズのための様々な添加剤を提供しています。SVG 86シリーズの正確な組成は、使用されるベースポリマーと光重合体の種類によって異なります。選択したフォトライターに応じて、86シリーズのフォトレジストには数秒から数分の露光時間が必要で、10秒から1分の範囲で最高のパフォーマンスを発揮します。SVG 86シリーズは、自動フォトリソグラフィーシステム、および従来の手動露光技術と互換性があります。86シリーズのフォトレジストラインは、基板表面と膜厚の非常に広いスペクトルをカバーしています。厚さは10nmから厚さは数umまで、レジスト製剤に応じて厚さは数umです。SVG 86シリーズは非常に汎用性が高く、ガラス、プラスチック、金属、石英などの表面に使用できます。結論として、86シリーズは、優れた解像度、高い接着性、優れた耐薬品性、薄膜蒸着を提供する高性能フォトレジストユニットです。スピンオンソリューションベースのフォトレジストマシンとして、自動フォトリソグラフィおよび手動露光システムと互換性があり、ポリマー/フォトイニシエータの量と様々な添加剤を調整することで、特定の用途に合わせて調整することができます。
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