中古 SVG 8136 #9396684 を販売中

製造業者
SVG
モデル
8136
ID: 9396684
ウェーハサイズ: 5"
(4) Coater / (3) Developer tracker system, 5".
SVG 8136は、ダブルパターニングや液浸リソグラフィなどの高度なリソグラフィープロセス用に設計された高性能フォトレジストです。8136は、優れた解像度、均一性、および処理安定性を提供するために、ポリマーと添加剤の独自のブレンドで配合された負のトーンレジストです。SVG 8136フォトレジストは、革新的な技術を使用して、ダブルパターニングプロセスを可能にし、サブフィーチャー解像度100nmを達成します。このレジストは、非常にフィルム性が高く、優れた湿式プロセスの均一性を保証するように設計されているため、開発者は複雑な構造を正確かつ確実に製造することができます。ポリマーブレンドは、耐水性を向上させ、リソグラフィープロセス全体で優れた機械的性能を保証するように設計されています。抵抗はイソプロピルアルコールおよびアセトンのような化学薬品と機能をすぐにそして効率的に開発するのに使用することができます。レジストの洗練された式は、化学抵抗損失を最小限に抑えるのに役立ち、高度な用途における信頼性の高いイメージング性能をもたらします。8136フォトレジストを使用するもう1つの利点は、汚染を低減し、後処理時の粒子発生を最小限に抑えるように設計されていることです。このレジストはジャケット状の有機層を備えており、微粒子を低減し、汚染を低減し、要求の厳しいパターンの信頼性の高いパターンを提供します。一般に、SVG 8136フォトレジストは、最適な解像度、均一性、および処理安定性を備えた高度なリソグラフィープロセスを提供するように設計されています。レジストは、高いフィルム性、耐水性、低粒子生成性を有し、高度なデバイス製造アプリケーションでの使用に適しています。優れたイメージング性能と信頼性の高い後処理の利点を提供することにより、8136フォトレジストは、開発者がより正確で精密な構造を作成することができます。
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