中古 SVG 8136 HPO #149607 を販売中

SVG 8136 HPOは、半導体製造用に設計されたフォトレジスト機器であり、高解像度で最高の機能制御を必要とするその他の先進的なアプリケーションです。この包括的なシステムにより、最もクリーンで正確なレジスト形成とエッチングが可能です。8136 HPOは、スピンコーターの基板層に回転する高度な化学増幅フォトレジストを利用し、所望の特徴サイズによって決定される特定の波長の紫外線にさらされます。この光への曝露は、レジストと基板層の間の化学反応を引き起こし、基板の電気的特性を変化させます。この基層を薄くすることで、多くの先端技術が必要とする微細加工が可能になります。SVG 8136 HPOはまた、正確なパターニングを保証するためにdevelopment-trap-recoverプロセスを使用します。開発ソリューションは、余分なフォトレジストを持ち上げ、デバイス製造に必要なパターンだけを残すために使用されます。トラッピングステップは、パターンのエッジを横断して滑らかなエッジを確保するために、ファーストインファーストアウトメソッドを使用します。これは、酸素プラズマまたはウェット開発後処理を使用して強化し、完璧な鮮明なパターンを確保することができます。8136 HPOは、さらに正確さと清潔さを確保するために、デバイスと基板の両方に業界をリードする接着制御を提供しています。この制御は、高速加熱と冷却が基板に深く浸透し、より良い接着性を作り出すことを可能にする急速な熱制御の方法によって達成されます。また、特殊素材を配合した高性能レジストを採用し、耐摩耗性を向上させています。最後に、SVG 8136 HPOは、オンボードマイクロコントローラを搭載した業界をリードするセンシングフォトレジスト（SPR）最適化ソフトウェアスイートを備えています。このマシンは、最高の解像度の結果を保証するために精密露出レベルを制御するのに役立ちます。このスイートは、フォトリソグラフィープロセスをより良く制御するための詳細な追跡と監査機能も提供します。要約すると、8136 HPOは、最もクリーンで最も詳細な半導体構造を製造するための高度なツールです。業界をリードするフォトレジスト技術、開発トラップリカバリプロセス、独自のSPR最適化ソフトウェアスイートにより、最高の効率と精度を提供します。