中古 SVG 81 #9302570 を販売中

SVG 81は、さまざまなデバイス生産プロセスの性能を実現するために開発されたフォトレジスト機器です。このシステムは、シリコン、ヒ素ガリウム、タングステン、ポリシリコンなどの半導体ウェーハ材料のエッチング、平面化、トレンチを可能にするために特別に設計されました。81は、高度に専門化された光源によって生成された急速な紫外線に表面上のフォトレジスト層を暴露することによって動作します。この紫外線は、フォトレジストの分子に化学変化をもたらし、表面に望ましいパターンを達成するために異なる厚さの層を構築することが可能になります。紫外線にさらされた後、ウエハーはエッチングチャンバーに移され、適切なエッチング剤を使用して交差させない材料を除去します。所望のパターンが作成されると、エッチングプロセスから残った残留物や粒子を取り除くために、エッチング後のドライクリーニングステップが使用されます。SVG 81ユニットはまた、より均一な表面を得るために、露出したウェーハ上に平面化層を堆積する機能を提供します。これにより、よりスムーズなサーフェスと信頼性の高いデバイスの生成が可能になります。さらに、81は、紫外線照射強度に基づいて、さまざまなサイズと形状の穴や溝を達成することができます。SVG 81マシンは、いくつかの主要なコンポーネントで構成されています。これらのコンポーネントには、フォトカソード電源、光源、イメージングツール、および環境制御が含まれます。フォトカソード電源は、フォトレジストパターンを作成するために必要な特殊な紫外線の電源として機能します。光源は必要な紫外線を供給するために使用され、イメージング資産はウェーハ全体のパターンの均一性を制御します。最後に、環境制御は温度と密度を調整します。81モデルには複数の利点があります。装置は信頼でき、費用効果が大きく、エネルギー効率が良いです。さらに、プロセスは非侵入であり、エッチングや平面化などの他のプロセスから取り除かないことを意味します。最後に、SVG 81は幅広いウエハ素材に対応しており、幅広く使用されています。