中古 SVG 81-3 #154967 を販売中

SVG 81-3は、優れた性能と再現性のある結果を提供する最先端のフォトレジスト機器です。ポジティブトーンとポジティブフォトレジストARRA-97M基板への接着性の向上、高解像度画像、優れた線幅制御を実現しています。このユニットは、ファインライン集積回路およびデバイスの製造に最適です。81-3はフォトレジストの精密な計量のための高精度のマイクロメカニカルディスペンス装置を使用する単一カートリッジ機械です。このユニットには、フォトレジスト分配速度、沈殿タイミング、コーティング速度などのパラメータを調整できるマイクロプロセッサ制御ツールが装備されています。この資産はまた、効率的な操作を可能にするためにチャンバー圧力、温度、湿度を監視します。このモデルは、中断のない連続処理のための手動または自動操作のために設定されています。SV 91-3装置は、30°C以下の温度で動作するように設計されており、減極光による視認性の問題を低減するように特別に設計されています。また、高出力のUV光源が付属しており、感度と精度が向上します。また、軌道イメージングユニットを搭載しており、ライン幅の解像度とパターン形成に優れ、正確かつ再現性のある結果を得ることができます。さらに、SVG 81-3マシンは、自動画像位置決めとアライメントを提供しています。この強力な機能により、ユーザーは最高品質の画像を生成するために、フォトレジストを基板に非常に正確に整列させることができます。このツールはまた、高度なオンサイズイメージングを備えているため、両面処理に最適です。結論として、81-3は信頼性が高く、高精度で効率的なフォトレジスト資産です。優れたライン品質の画像と優れたライン幅の制御を提供するように設計されており、精度と再現性を向上させるためのいくつかの自動化された機能が付属しています。基板への接着性に優れ、両面加工も可能です。