中古 SVG 8028 #9396689 を販売中

SVG 8028は、ナノスケール構造のフォトリソグラフィ処理を自動化するために設計されたフォトリスト機器です。PVC （Polyvinyl Cinnamate）をパッシベーション材料として使用する、信頼性とパルスサイズの敏感なシステムです。このユニットは、オプションの広い範囲とパラメータの非常に正確な制御を備えています。8028は、光源モジュール（LSM）とUV硬化室を備えた走査型電子顕微鏡（SEM）の2つの主要コンポーネントで構成されています。マシンはグラフィカルユーザーインターフェイスを介してセットアップおよび操作することができ、同じソフトウェアがLSM、 SEM、およびUV硬化チャンバーを制御します。Scanning Electron Microscope （SEM）は、高分解能および低電圧電子ビームで構造をイメージするために使用されます。このツールは、サブナノメートルレベルまでの解像度を達成することができます。電子ビームが構造に沿って移動すると、レジストは表面に堆積してからUV硬化室で硬化します。硬化レジストは絶縁層を提供します。SEMは最大500xの拡大が可能で、複雑な3D構造を分析することができます。SEMは平面と地形の詳細フィーチャーの両方を評価するために使用されます。光源モジュール（LSM）は、光の照明のための外部ソースです。パワー、偏光、角度インシデント、波長などの可変パラメータを備えた単色ビームを提供します。LSMは、複数の発生角度、偏光、可変ビームスポットサイズ、レーザービームの焦点、暗視野/明視野の照明など、さまざまなオプションにアクセスできます。フォトリソグラフィック処理の自動化において信頼性が高く、非常に効果的であることが証明されています。UV硬化チャンバーは、LSMとSEMを組み合わせて、高性能で安定した処理性能を発揮します。硬化チャンバーは高精度温度制御を備えており、非常に安定したレジスト材料を可能にします。このチャンバーには、効果的な治療を保証するために、音響ピエゾアセットと内蔵の真空モデルも装備されています。SVG 8028はナノスケールの処理の分野で非常に多目的な装置です。幅広いパラメータと多様なプロセスオプションに対する信頼性と正確な制御を提供します。このシステムは、高精度の3D構造を生成することができ、複雑なナノ構造に優れた分解能を提供します。また、コスト効率が高く、メンテナンスも最小限に抑えられます。