中古 SVG 800 #293639165 を販売中

SVG 800
製造業者
SVG
モデル
800
ID: 293639165
ウェーハサイズ: 6"
Coater / Developer system, 6" 1995-1996 vintage.
SVG 800は、非常に正確な回路を生成するために設計されたフォトレジストシステムです。800は、回路設計のためのナノメートルレベルの精度を達成するための正負フォトレジスト技術を提供します。一貫して正確な部品を作成し、サブミクロンレベルで精度と再現性を提供するために構築されています。SVG 800は特殊光源、回転するUV光ディスク、精密マスクアライメントステージで構成されています。光源は標準と斜めの角度を切り替えることができ、より正確なビーム配置と高解像度を可能にします。光ディスクには透過露光領域と反射場の発生装置があり、露光領域にわたって露光エネルギーを均等に分ける役割を担っています。露光領域はさらにサブリージョンに分けられ、特にサブミクロンレベルで露光精度と再現性を向上させることができます。マスクアライメントステージは、光源に関連して基板と基板を正確に配置する役割を担っています。アライメントステージはレベルプラットフォームと同様に機能し、基板と基板マスクを正確に移動および回転させることができます。基板と基板マスクを手動で移動させることで、ミスアライメントのリスクを最小限に抑えながら、高い精度を実現します。システム全体は制御およびデータ処理を担当するコンピュータによって動力を与えられます。コンピュータは光源、光学ディスクの回転速度および露出領域の位置を制御するために責任があります。また、x、 y、 zモーションステージと回転メカニズムを含むマスクアライメントステージの制御も担当しています。コンピュータはまた、露出パラメータを記録し、露出データを処理して、回路の各層が正しく正確に露出されるようにします。800は強力で信頼性の高いフォトレジストシステムで、エンジニアや設計者が高精度、再現性、ナノメートルレベルの回路を作成するのに役立ちます。使いやすく、精度と再現性が高いため、高い精度と再現性を必要とする方に最適です。
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