中古 SVG 16233 #9397148 を販売中

SVG 16233は、Specialty Verification Group （SVG）が製造・販売しているフォトレジスト機器です。半導体およびマイクロエレクトロニクス用途向けに設計された水ベースのフォトレジストシステムです。このユニットは、ウェーハ上に薄く均一なポリマー障壁を形成する方法を提供します。16233は、2つのコンポーネントで構成されています。感光剤は、シリコンウェーハなどの基板表面に吸着するように設計された有機化合物の溶液です。増感剤の適用の後で、基質は光源、典型的には紫外線にさらされます。光は化学反応を起こし、増感剤は標準溶媒に不溶な高分子構造に変換されます。この高分子構造をレジストと呼びます。SVG 16233フォトレジストマシンによって形成されたレジストは、ウェーハ上の薄く均一な障壁です。抵抗の薄い層は化学エッチングからウェーハのドープされた層を保護するのに使用することができます。レジストはまた、パターン化された回路に対するより良い地形制御を提供しながら、製造プロセス中にマスクとして機能します。レジストによって形成されたバリアは、厚い層のフォトレジストシステムを使用するときに発生する二次酸化を防ぐこともできます。16233はフォトレジストアプリケーションで使いやすいように設計されています。2つのコンポーネントは、標準的なマイクロマスキング技術と互換性があり、このツールは自動スピンコーティングによって適用することができます。さらに、このアセットはレジストと基板の間の良好な接着性を提供し、マスクや回路の信頼性の高いリフトオフを可能にします。このモデルは高温下でも安定しており、その後の処理ステップに耐性があります。SVG 16233は、さまざまな半導体およびナノ加工プロセスでの使用に適した簡単なフォトレジスト装置です。このシステムは2つのコンポーネントで構成されており、適用が容易で、一貫したカーボンベースのレジストを提供します。薄いレジスト層は、製造プロセス中に良好な接着性と地形制御を提供することができ、同時に酸化およびエッチングからウェーハを保護します。