中古 STEAG / MATTSON / AST Marangoni #9267094 を販売中

STEAG/MATTSON/ASTマランゴニは、様々な表面に精密エッチングとパターニングを可能にするために開発されたフォトレジスト機器です。紫外線（UV）照射と露出後の熱処理の高度な組み合わせを使用して、基板の対象領域を正確に溶解します。フォトレジスト材料は、液体としてターゲット領域に適用されます。紫外線にさらされると、液体の露出部分が固体に変わります。照射後、AST Marangoni Application System Thermal Unit （MASTU）を使用してサンプルを加熱します。このプロセスにより、反応したフォトレジストは制御された方法で溶解します。照射されていない材料に影響を与えないようにするには、高度な熱制御ユニットを使用して熱を正確に調整する必要があります。このプロセスにより、背の高い構造と薄い構造を正確に意図された場所で、高い垂直忠実度で微細加工することができます。また、微細な角度とマイクロチャネルを形成するだけでなく、レジストの厚さを正確に制御することができます。STEAG Marangoniは、MEMS （MicroElectroMechanical Systems）やNEMS （NanoElectroMechanical Systems）などの薄膜デバイス構造に特に適しています。また、医療機器、エネルギー収穫、センサーなどの他の分野でも非常に成功しています。Marangoniは、大面積と小面積のフォトレジストパターニングに適しています。さまざまな材料を正確にパターン化するための非常に費用対効果の高い方法であるだけでなく、環境に優しいソリューションでもあり、有害な化学物質を使用する必要はありません。結論として、MATTSON Marangoniは、コスト効率が高く安全な方法で精密エッチングとパターニングを実現するための信頼できる機械です。それは広範囲の適用に使用することができ、高精度および無毒な技術は革新的な装置製作をより容易そしてより効率的にさせるのを助けています。