中古 STEAG / MATTSON / AST Marangoni #293595304 を販売中

STEAG/MATTSON/AST Marangoni Photoresist Equipmentは、電子部品やデバイスの製造に使用される高度なフォトリソグラフィ法です。光露出と反応拡散を含む複数のプロセスを組み合わせて、フォトレジスト被覆基板を露出して開発し、目的の構造や特徴をパターン化します。AST Marangoni Photoresist Systemは、ウェーハプロセッサとSoftBakeオーブンと呼ばれる2つの独立した原子炉で構成されています。WaferProcessorは、基板表面にフォトレジスト分子を配置し、望ましい露光パターンを作成し、フォトレジスト層を開発するコンピュータ制御マシンです。この露出と開発プロセスは、特定の光の露出と反応拡散パターンに基板を露出させることによって行われます。その後、SoftBakeオーブンを使用してパターニングプロセスを完了します。このプロセスでは、基板をオーブンで所定の温度に加熱し、あらかじめ定義された露出時間に設定し、基板の異なる部分の間に制御された熱勾配が作成されます。この熱勾配は、フォトレジスト層を変更することなく、目的のパターンを選択的に形成することができます。STEAG Marangoni Photoresist Unitの最後のステップは、高温オーブンを使用してフォトレジスト材料を活性化するポストベークです。この活性化プロセスは、エッチングやその他の製造プロセス中にフォトレジストパターンがそのまま残り、所望のパターンが正確に複製されることを保証します。結論として、Marangoni Photoresist Machineは、電子部品やデバイスを製造するために使用される高度で信頼性の高いフォトリソグラフィ方法です。このアプローチは、露出、反応拡散、および焼成後のプロセスの組み合わせを利用して、正確なパターンと特徴を取得します。比較的小型で低コストなため、さまざまな大量生産プロセスに適しています。