中古 STEAG Marangoni #138851 を販売中

STEAG Marangoniは、半導体、MEMSおよびその他のマイクロエレクトロニクス製造プロセスで使用される最新のフォトレジスト機器です。これは、レーザー光の露出をより敏感にするために、基板、典型的にはシリコンウェーハに適用される特別な感作エマルジョンで構成されています。エマルジョンは、有機塩基の水溶液と光活性化合物を含む化合物で構成されています。基板がレーザー光にさらされると、これらの化合物は急速に解離し、光化学反応に入るラジカルを形成し、基板上に酸化アルミニウム膜を形成します。Marangoniフォトレジストシステムは、優れたリソグラフィ結果を優れた精度と一貫性で提供するように設計されています。単位によって作り出される酸化アルミニウム膜の厚さそして表面は非常に均一で、基質の地形に密接に合致します。この精度は、基板に高品質の反射防止コーティングを加えたことと、フォトレジスト乳剤の高精度成膜によるものです。STEAG Marangoniフォトレジストマシンは、優れたリソグラフィ結果を提供するだけでなく、優れた接着性と熱安定性を備えています。酸化アルミニウム膜と基板の接着性に優れ、フォトレジスト膜をしっかりと固定できます。フォトレジストの熱安定性により、最大300℃の温度に耐えることができます。マランゴニのフォトレジストツールは、半導体デバイス、MEMSデバイス、その他のマイクロエレクトロニクス部品の製造など、幅広い用途で使用できます。特に、トレンチ、溝、キャビティなどのアスペクト比の高い半導体部品の製造に適しています。その優れたリソグラフィ結果と高い熱安定性により、精度と信頼性を必要とするマイクロエレクトロニクス製造アプリケーションに最適です。