中古 SSI 150 #9228957 を販売中

SSI 150
製造業者
SSI
モデル
150
ID: 9228957
ウェーハサイズ: 6"
Coater track system, 6" With input cassette Oven Chill plate.
SSI 150フォトレジスト装置は、フォトレジスト材料の信頼性と正確な処理を提供するように設計された半自動システムです。フォトレジスト材料は、マイクロエレクトロニクス部品やデバイスの製造に使用される基板の一種です。まずフォトレジスト材料が化学調節室を通過し、次に基板の上面と底面の両方を別のパススルー工程で処理することによって150の作業が行われます。最初の処理段階では、紫外線(UV)光源を適用し、フォトレジスト材料を活性化し、さらなる処理に備える。材料が紫外線にさらされると、フォトマスクとも呼ばれるフォトレジストストリップが基板と光源の間に配置されます。このフォトマスクはステンシルのように機能し、材料の特定の部分をブロックしながら、その特性に応じて他の部分を露出します。基板がフォトマスクにさらされた後、それはさらに処理するためにオーブンに入れられます。オーブンにさらされた後、基板は冷却トンネルを通過し、その後、開発中のチャンバーに突っ込まれます。このチャンバーには、露出した基板の特定の部分を溶解するように特別に設計されたソリューションが含まれています。このように、基板上に残っているフォトレジスト層は精製され、所望の形状に統合されます。最後に、基板は洗浄室を通過し、残りの残留物は前の処理から取り除かれます。このプロセスの後、フォトレジスト基板は、マイクロエレクトロニクス部品やデバイスの作成に使用する準備ができています。SSI 150フォトレジストユニットは、マイクロエレクトロニクス部品およびデバイスの製造に正確で信頼性の高いプロセスを提供します。この機械は、フォトレジスト材料が最小限の無駄で所望の形状とサイズに達することを保証し、手動生産および加工方法と比較して非常に費用対効果が高くなります。さらに、このツールは、すべてのフォトレジスト基板が業界仕様を満たしていることを保証し、一貫した信頼性の高い製品になります。
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