中古 SSC BPE-2708-SP #9396918 を販売中

SSC BPE-2708-SPはSSCが開発したフォトレジスト機器です。金属、ガラス、有機材料などの高度な基板加工用に設計された高効率のフル機能システムです。マスクレス、スプリットビーム、近接制限マスクレスリソグラフィーユニットです。このフォトレジストマシンは、ユニークなマルチステージリソグラフィ方法で非常に高度なツールデザインを備えています。あらかじめ加工されたレジスト層から歪みを除去するカスタマイズされた石英ガラス投影鏡を導入しています。これにより、均一な画像形成とターゲット素材とのアライメントが向上します。アセットは高解像度のアライメントモデルで動作し、基板のミスアライメントをすばやく識別し、これらを自動的に補正して基板を正確にイメージングします。フォトレジスト装置は、高度な基板を最適に加工するための幅広い機能を備えています。フォトレジストシステムには、厚い基板を処理するためのものと、薄膜を処理するためのものの2つの異なるフォトレジストシステムがあります。このシステムには様々なソフトウェアツールが付属しており、マスクレスのダイレクトライトリソグラフィと近接制限のあるマスクレスリソグラフィが可能です。さらに、このシステムは高精度のサンプル移動とウェーハ準備を備えています。このユニットは最大4インチのサンプルサイズに対応でき、レーザーによる正確なパターニングが可能な調整可能な露出領域を備えています。露光解像度は9500ppiまで可能で、小型基板機能の高解像度イメージングが可能です。また、より効率的な露出を可能にする冷却機が付属しているため、全体的なスループットとビーム安定性が向上します。全体として、BPE-2708-SPは高度で効率的なフォトレジストツールであり、高度な基板の処理を可能にするように特別に設計されています。豊富な機能を備えた設計により、正確な露出で素早い基板処理が可能になり、高精度画像のための優れたマスクレス直接書き込み画像解像度を提供します。そのユニークなデザインは、ソフトウェアツールと組み合わせて、このフォトレジスト資産は、ハイエンドのアプリケーションに最適です。