中古 SSC BPE-2708-SP #9220820 を販売中
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ID: 9220820
ウェーハサイズ: 8"
ヴィンテージ: 2006
Gold plating machines, 8"
Plating mechanism: Fountain, face-down
Manual wafer load and unload
Solution: Non-cyanide, Au solution
Solution capacity: (14) Cups, 8"
Temperature control: Direct heating
Mechanism: PID Control
Temperature control range: Room temperature to ~70°C
Flow rate: Auto control by flow sensor, cup / Pump control mechanism
Plating tank: Laminate
Upper lid: PVC
Cup holder: HT-PVC and PPS, 8"
Upper lid arms: SUS Coated with PTFE
Upper lid open / Close: Air cylinder
Fountain pump: Polypropylene
Valve: PTFE AV valve, HT-PVC, PVC and PFA
Piping of Au solution: HT-PVC, Polypropylene and PFA
Piping of DIW and drain: HT-PVC, PVC, and PFA
Piping of exhaust: PVC
Plating unit: PVC
Cup location: (7) Lines x (2) cups
Fountain pumps: (14) MD-100FYK With inverter control: 8~50 L/min
With cup / Pump flow rate
Circulation pumps: (2) MD-100FYK With inverter control
With (2) circulation piping lines
Fountain filtration: (14) Sets of PP (housing and cartridge)
Circulation filtration: (2) sets of PP (housing and cartridge)
Solution level control: N2 level sensor for each solution tank
With (2) upper, lower, fixed, additive
Sensors: Temperature, leakage, flow rate, area
(4) Heaters, 3 kW
Power supply: Cabinet (Caster and adjuster)
Fixed electrical current
2-Channel switch: (2) 8~3000 mA (8 ~300 mA)
Precision: ±0.5 % by 300 mA
Control: Sequence control
Touch panel and PLC
Data recorded PC
(30) Programmable numbers
(90) Recipes per programmed number
Count current mod (mA / Hour)
Bump height uniformity: ≤ 5 % (10-15) points / Wafer
Bump height uniformity: ≤ 2 um - ≤3 um, 8" (80-120 points)
Flow rate: 35 L/min, no leakage from backside
Edge contact area / Cathode
No plating cup
2006 vintage.
SSC BPE-2708-SPフォトレジスト装置は、急速に進化する製造技術のニーズを満たすように設計された高度な自動精密レーザー露光システムです。これは、高精度と高精細分解能を必要とする高度なフォトリソグラフィーアプリケーションに最適です。その中心には、SSC独自のソリッドステートレーザマシンが装備されています。このレーザーツールは、さまざまな調整可能な周波数、持続時間、およびエネルギーレベルで高出力パルスを生成し、損傷を引き起こすことなく正確かつ正確にフォトレジスト材料を露出させることができます。さらに、レーザー露光プロセスを監視および制御するように設計された高解像度カメラシステムが含まれています。これにより、レーザーの各パスが事前に決定されたパターンに正確に従っていることが保証され、フォトレジストの均一な露出が得られます。さらに、このモデルには、自動マテリアルハンドリング装置の要因が含まれています。これにより、オペレータはフォトリソグラフィのジョブごとに2つの標準マスクを素早く簡単にロードでき、スループットを最大化できます。マテリアルハンドリングシステムにより、レーザーが発射される前にマスクを正確に配置できるため、高精度で再現性に優れています。また、高性能なアーカイブマシンも搭載しています。これにより、オペレータはフォトリソグラフィの設定とパラメータを保存してリコールを容易にし、スループットをさらに最大化できます。このツールは、直感的で使いやすいインターフェイスを介して制御されます。このディスプレイには、フォトリソグラフィの進捗状況に対するリアルタイムのフィードバックが含まれており、各レーザー露光ステップの結果を視覚的に要約できます。全体として、BPE-2708-SP Photoresist Assetは、高精度と高精度の解像度を要求する高度なフォトリソグラフィーアプリケーションに最適なソリューションです。堅牢な機能セットと自動化されたマテリアルハンドリングにより、高いスループットを実現し、すべてのジョブで再現性と一貫した結果を保証します。
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