中古 SRD CT-302 #9301059 を販売中

SRD CT-302は、レジストの薄層（5um以下）を基板にパターン化して堆積させるフォトレジスト装置です。DUV放射線源を利用した統合リソグラフィーシステムであり、最大193nmの波長でフォトレジストを5 umの薄さで露光する。ステッピングモーター、調節可能なソース、モーター付きコントローラを備え、基板の精密露出を可能にします。また、ASMLコーター/デベロッパーユニットを内蔵しており、ポジティブフィルムとネガティブフィルムの両方を濡らして開発することができます。これにより、高精度で複雑なパターンを作成できます。ステッピングモータは、焦点と露出領域を正確に制御し、リアルタイムプロトタイピング機能を提供します。ツール内の調整可能なソースは、レジスト特性の詳細な分析が可能であり、パターニングプロセスの微調整を可能にします。このアセットには、基板位置および露光時間のシフトを検出する高感度の光学センサーが装備されています。それはまたステッピングモーターおよび調節可能な源の精密な動きのための洗練されたモーターを備えていますコントローラーを。CT-302は、直感的で使いやすいグラフィカルユーザーインターフェイス（GUI）を備え、ユーザーフレンドリーに設計されています。これにより、さまざまな設定とプロシージャパラメータを正確に制御できます。さらに、その信頼性と耐久性の高いコンポーネントは、一貫した反復可能な結果を保証します。このフォトレジストモデルは、安全性とメンテナンスの容易さのためにも設計されています。これは、機器を監視するための緊急停止ボタンやカメラなど、いくつかの組み込みの安全機能を持っています。メンテナンスにも簡単にアクセスでき、必要に応じて迅速にサービスを提供できます。SRD CT-302は、高度なリソグラフィープロセスに必要なすべての精度、精度、および性能をまとめています。これは、欠陥のない薄膜層の生産に最適であり、設備の整った実験室にとって大きな資産です。