中古 SPECIALTY COATING SYSTEMS / SCS Precision Coater #9135649 を販売中

SPECIALTY COATING SYSTEMS/SCS Precision Coaterは、マイクロエレクトロニクスやフォトニック用途に最適なフォトレジスト材料を基板に最適かつ正確にコーティングするために設計された精密フォトレジストコーティング装置です。このシステムは、ナノメートルレベルの均一性と精度の精度により、高品質に研磨されています。フォトレジストディスペンスモジュール-高精度ポンプと精密ノズル、ディスペンスの自動制御とコーティングプロセスの均一性のためのフォトレジストアプリケーションモジュール、統合されたカメラ技術を介してコーティング表面を正確にスキャンするスキャナーモジュールで構成されています。Photoresist Dispense Moduleには直感的なグラフィカルユーザーインターフェイスが装備されており、ユーザーは希望するフォトレジストのボリューム、濃度、速度を設定できます。このモジュールには、高性能ポンプ、バルブ、ノズルも含まれており、高精度で信頼性の高い結果を提供します。さらに、ASEP-Xガラスキャピラリーディスペンスポンプは、ナノメートルレベルの均一性と精度を実現するための高精度なディスペンスパラメータを提供します。フォトレジストアプリケーションモジュールには、フォトレジストアプリケーションアームとディスペンスヘッドチルトメカニズムが装備されており、エッジエフェクトを最小限に抑え、コーティング分布も提供します。フォトレジストアプリケーションモジュールを使用したコーティング基板の均一性は、アプリケーションパラメータの最適化を可能にする光学診断と電気診断の両方を使用することにより、驚くほど正確です。スキャナーモジュールは、高精度で表面の欠陥や不均一性を検出することができます。これは、カメラモジュールと統合された内蔵の110°Prismによって実現されます。さらに、スキャナーモジュールにはワンステップ非接触シート抵抗測定が装備されているため、特定のフォトレジスト層の成功または失敗を瞬時に監視および評価できます。全体として、SCS Precision Coaterは、あらゆるマイクロエレクトロニクスまたはフォトニクスアプリケーションに最適なフォトレジストユニットです。高精度な機能と最適化されたパフォーマンスを可能にするさまざまなモジュールにより、正確で信頼性の高い結果を提供します。このフォトレジストマシンは、さまざまな基板や表面にフォトレジスト層を小さく大規模に堆積させるのに効果的で、あらゆる精密コーティングのニーズに最適です。