中古 SPECIALTY COATING SYSTEMS / SCS P Coater #9093851 を販売中

SPECIALTY COATING SYSTEMS/SCS P Coaterは、光に敏感なコーティングをガラスなどの透明基板に成膜するために開発されたフォトレジスト機器です。システムは、光源、コントローラ、サンプルステージ、および交換可能なフィルターホイールで構成されています。このユニットは、1〜50nmの厚さの高解像度の単光露光パターンを生成することができます。ビームシェーピングレンズを使用すると、必要なビームエネルギーが減少しますが、フィルターホイールは適切な光スペクトルを選択するためのスペクトル制御を作成します。SCS P Coaterは、高度な6軸ロボットステージを採用し、サンプルを目的の焦点面に保ちながら大量のサンプル移動を可能にします。光源は、ランダムアクセスパターンを備えた高強度のコヒーレント光源を提供し、さまざまな光の露出を作り出します。このコントローラを使用すると、ユーザーは露出パターンを設定したり、露出時間を選択したり、エリアをスキャンしたり、目的のサンプル領域に露出を繰り返したりできます。SPECIALTY COATING SYSTEMS P Coaterは、互換性のある基板表面にフォトレジストをコーティングするように設計されています。被覆材料はインシデント光で露出され、フォトレジスト材料が露出した部分で硬化する化学プロセスを引き起こします。さらに、露出レベルを変化させることができ、高度に最適化された表面パターンを作成することができます。P Coaterはまた、多くの便利なアクセサリーを通じて柔軟性をユーザーに提供します。これらには、サンプル加熱源、サンプルホルダーの選択、スパッタリングに適切な波長を選択するためのフィルターの範囲が含まれます。このツールには、サンプルコーティング工程の間の表面から分散した粒子を除去するための自動ウェハクリーニングステーションも含まれています。SPECIALTY COATING SYSTEMS/SCS P Coaterは、光に敏感なコーティングを成膜するための効率的で高精度な資産です。その高度な技術は、コーティングプロセスのセットアップを簡素化し、露出レベルやスペクトルなどのコーティングパラメータの柔軟性を提供します。このモデルは、フォトリソグラフィ業界の幅広い用途に適しており、さまざまなタイプとサイズの基板に機能層を正確に堆積させることができます。