中古 SPECIALTY COATING SYSTEMS / SCS BH-360 #9248733 を販売中
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ID: 9248733
ヴィンテージ: 2015
Parylene deposition system
With cryogenic
Freezing temperature range: ≥-85°C
Sensor: T-type
Ambient temperature range: 20~30°C
Refrigerant:
R507
R-23 R-290
Chamber:
Diameter: 360 mm
Gas molecular duct
Door diameter: ≥530 mm
Door thickness: ≥20 mm
Observation window
Rotating platform:
Carriers
Rotating speed motor
Architecture: Motor and reducer
Load capacity: 20 kg
Spinning speed: 0.5 - 10 RPM
Compressor: 50/60 Hz, Single phase, 1 HP
Power supply: AC 220 V, 50/60 Hz
2015 vintage.
SPECIALTY COATING SYSTEMS/SCS BH-360は、マイクロエレクトロニクス業界の電気部品をパターン化するために使用される高解像度の「フォトレジスト」装置です。フォトレジストは、紫外線にさらされると化学反応を起こす特殊なポリマーです。SCS BH-360システムは、専用スピンコーティングユニット、統合コンピュータ、UV光源、液晶ディスプレイ(LCD)で構成されています。フォトレジストは、表面にレジストの均一なコーティングを適用するスピンコーターマシンを使用して電子部品に適用されます。フォトレジストを塗布した後、紫外線にさらされ、フォトレジストに化学反応を起こします。この反応によりフォトレジストの電気特性が変化し、このプロセスを使用して電気部品をパターン化することができます。SPECIALTY COATING SYSTEMS BH-360手順の次のステップは、フォトレジストの露出または露出していない領域を除去する開発プロセスです。フォトレジストの開発は、アセトン、メチルエチルケトン、N-メチルピロリドンなどの様々な溶媒で行うことができます。開発プロセスの後、フォトレジストは温度、湿気および他の環境要因から材料を保護するために堅くされます。レジストが硬化したら、コンポーネントはパターン化される準備ができています。これは、コンポーネントに応じて、さまざまな方法で行うことができます。部品をパターン化する最も一般的な方法の1つは、電解質と電流を使用してフォトレジストの露出したセクションをエッチングするエッチング処理を使用することです。コンポーネントがパターン化されると、希望するパターンが達成されるまでフォトレジストの追加レイヤーが追加されることがあります。SCS BH-360systemは、非常に精密で、非常に正確なパターンを生成することができるため、マイクロエレクトロニクス業界にとって理想的なフォトレジストツールです。紫外線の使用は電気部品を作成するための安全で、環境に優しいプロセスを提供し、自動スピンコーティングの資産はフォトレジストの均一性を保障します。また、同じフォトレジスト装置をさまざまな部品やパターンに使用できるため、高い柔軟性を備えています。
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