中古 SPECIALTY COATING SYSTEMS / SCS BH-1000 #9224861 を販売中

SPECIALTY COATING SYSTEMS/SCS BH-1000は、小さなフォトレジストパターンの優れたプロセス制御と均一な転送を最小限に抑えるように設計された高性能フォトレジスト装置です。このシステムは、コンピュータ制御の計量ユニットと設計者制御の噴霧機を含むいくつかのコンポーネントで構成されており、どちらもフォトレジスト材料を目的の基板に適用するために精密な噴霧スプレーヘッドを使用しています。メータリングツールは、効率を向上させ、複雑さを最小限に抑え、いくつかの機能を通じて廃棄量を低減します。その連続的な動きは、フォトレジストを基板上の制御された均一な層に堆積させます。これにより、表面に「ピット」または剥離がなく、欠陥を最小限に抑えることができます。さらに、ホッパー内の材料容量が4。5kgと大きいため、頻繁な補充の必要性が低減されます。また、5〜40ミクロンのフォトレジストコーティングの厚さを変化させる高さ調整機能も備えています。スプレーモデルは、小さなパターンを作っても、フォトレジストを均等に分散させるように設計されています。コンピュータ制御装置は、さまざまな角度、攻撃角度、および所望のアプリケーションのカバレッジレートでスプレーするように調整することができます。スプレーの圧力も調整でき、コーティングプロセスの制御を強化するための材料の正確な量を確立します。フォトレジスト素材は、高速で正確なパターン転送のために基板に最大限の接着性を提供するように特別に設計されています。材料は、ベーキング温度が高い場合でも軽くて熱が安定しているクロスリンクアクリル樹脂システムです。さらに、親水性があり、基板の電気的性能を妨げないように設計されています。メータリングユニット、スプレーマシン、フォトレジスト材料の組み合わせにより、小さなフォトレジストパターンに優れたコーティング均一性とプロセス制御を提供します。材料の厚さを調整する柔軟性を備えたSCS BH-1000は、迅速かつ正確な転送を可能にする信頼性の高い反復可能なフォトレジストツールを提供します。