中古 SPECIALTY COATING SYSTEMS / SCS 4398 #9057855 を販売中

ID: 9057855
Coating machine Power: 480 V, 60 Hz, 1 Ph, 16 A.
特殊コーティングシステム/SCS 4398は、高度なリソグラフィ用途向けに設計されたフォトレジスト機器です。この製品は、光学的に無感覚で耐久性が高く、信頼性の高いプロセスを提供します。SCS 4398システムは、リソグラフィ性能と最適なパターン忠実度のために、感光性のある量子メトリックコポリマー化合物を使用しています。この化合物は、分子レベルでクロスリンカー結合を形成する2つのポリマーで構成されています。一次ポリマーは感光層を提供し、二次ポリマーは感光層を基板に結合する役割を担っています。フォトレジストは、摩耗や摩耗に耐える非常に均一な表面コーティングを形成するために配合されています。また、リソグラフィパターニング処理中に基板に迅速かつ均等に結合するように配合されています。スペシャルティコーティングシステムズ4398ユニットは、高解像度のイメージングプロセスを提供し、大規模なパターニングを実現する可能性を秘めています。光学リソグラフィーシステムへの応用向けに設計されており、UV、 DUV、 I-Lineなどの様々な露光プロセスに対応しています。フォトレジストマシンは、SCS 6000シリーズを含む現在の世代のリソグラフィ材料と非常に互換性があります。また、様々な製造工程や多種多様な基材に使用できるように設計されています。4398ツールはまた、高度なプロセス制御機能により優れたリスク軽減を提供し、製造結果をより正確に再現することができます。この製品には、精密なプロセス制御と検証のための高度な計測ツールも装備されています。さらに、この資産は、高いリソグラフィック忠実度を維持しながら、広い温度範囲で使用することができます。全体として、SPECIALTY COATING SYSTEMS/SCS 4398モデルは、優れたリソグラフィ忠実度、プロセス再現性、およびリスク低減を提供します。この製品は、高度なリソグラフィーシステムでの使用を目的として設計されており、さまざまな基材および露光プロセスとの互換性を提供します。また、耐久性に優れ、広い温度範囲で優れた性能を発揮します。この製品は、詳細なリソグラフィ忠実度と反復可能なプロセス制御を必要とするアプリケーションに最適です。
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