中古 SOUTH BAY TECHNOLOGY / SBT IBSe DD #293706496 を販売中

SOUTH BAY TECHNOLOGY / SBT IBSe DD
ID: 293706496
Planarization coater system.
SOUTH BAY TECHNOLOGY/SBT IBSe DDフォトレジスト装置は、半導体デバイス上でファインリゾリューション、フォトリソグラフィーでパターン化された金属化層およびエッチング機能を生成するための最先端のシステムです。ユニットのフルネームはImaged By SRM Scanning Exposure (IBSeまたはIBSE) Direct Deposition (DD)です。SBT IBSe DDフォトレジストマシンは、アライメントマーク、透明度、マスク、画像を基材に正確に配置できる独自の3点レーザー露光技術を採用しています。3ポイントレーザー露光技術は、フォトリソグラフィのプロセスに不可欠であり、ヨハネス・グーテンベルクの活版印刷プロセスに基づいています。3点露光戦略は、マスクと一緒に画像を基板に配置し、目的のパターンを作成するために働きます。SOUTH BAY TECHNOLOGY IBSe DDフォトレジストツールは、Shipley S1818やAZ1518などの高感度フォトレジスト材料と他のはんだマスクやプライマーと一緒に使用するように設計されています。この資産は自動および手動の基質の機能、自動刃の取り替え、調節可能な基質のオリエンテーションおよび精密レーザーのステージングを特色にします。露光プロセスの精度をさらに高めるために、1 μ mの精度でエッジツーエッジパターンスキャン機能の自動調整機能±備えています。耐久性を確保するために、IBSe DDフォトレジスト装置は耐久性のあるアルミニウムおよび鋼鉄合金から構成され、腐食および高温変動に対して非常に耐性があります。すべてのシステム部品は高い振動抵抗のために設計されています、規則的な予防の維持のための必要性を除去します。さらに、このユニットは、安定性を向上させるために、内蔵の加熱ステージと温度制御を備えています。SOUTH BAY TECHNOLOGY/SBT IBSe DDフォトレジストマシンは、高解像度イメージング機能により、複雑なリソグラフィックパターンを優れた精度で加工できるため、半導体加工で広く使用されています。さまざまな種類のフォトレジスト材料で実行するこのツールの機能は、多くのアプリケーションにとって魅力的な選択肢にもなります。
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