中古 SOLITEC S822 ACB #9354008 を販売中

SOLITEC S822 ACBは、さまざまなエッチング、成膜、平面化プロセスで使用される高度な化学機械（CMP）フォトレジスト装置です。完璧な平坦性を維持するために、低レベルの汚染を必要とする高精度の誘電研磨用に設計されています。このシステムでは、エアクッションベルト（ACB）を使用して穏やかで低損傷の研磨を行い、高度なフォトレジスト技術により一貫した結果が得られます。ACB S822耐久性と耐食性のステンレススチールフレーム、2hp可変速モーター、および頑丈な輸送テーブルで構成されています。モーターは、滑らかで信頼性の高い、さらには動きを提供するように設計されており、精密プロセスに最適です。搬送テーブルは、研磨中にウェーハを確実に保持するように設計されており、搬送を最小限に抑え、加工中に必要な製品の量を最小限に抑えるために再循環スラリー管理ユニットが装備されています。SOLITEC S822 ACBは、圧力、機械的/化学的コンボ作用、研磨方向などの基本的なパラメータを正確に制御できる高度な制御機を備えています。これにより、小型および複雑な形状の部品の優れた平面化が保証されます。その高度な研磨ヘッドは、さまざまなウェーハサイズに適合するように設計されており、熱分解を最小限に抑え、処理される材料の品質を維持するアクティブ冷却ツールを備えています。S822 ACBは有機および無機タイプを含むフォトレジストの範囲との使用のために設計されています。これらの材料は、優れたエッチング選択性を提供し、より高い歩留まりと高品質の製品を可能にします。その高度なスラリー管理資産は、研磨プロセスの各ステップに最適な量だけが使用されることを保証し、効率的で費用対効果の高い操作を提供します。SOLITEC S822 ACBは、高精度の誘電研磨に最適です。堅牢な設計と高度な機能により、幅広い用途において信頼性が高く費用対効果の高い選択肢となります。高度な制御モデルとポリッシングヘッドを組み合わせた高度なフォトレジスト技術は、優れた平坦性、優れた歩留まり、信頼性の高い費用対効果の高い操作を提供します。