中古 SOLITEC 5110 #9363072 を販売中

SOLITEC 5110フォトレジスト装置は、フォトレジスト素材を基材に露出させるために設計された製造装置です。それは古典的なフォトリソグラフィープロセスを使用し、一貫した結果と高解像度、高品質の回路パターンを生成することができます。5110はフル機能のシステムで、6軸リソグラフィーステージアセンブリ、メインコントロールユニット、アノテーションユニットで構成されています。リソグラフィーステージアセンブリは、ステージベース、2つの中間ステージ、およびマイクロステージで構成されています。すべてのステージは個別に操作でき、機械の総移動範囲は25x25マイクロメートルです。ステージは、タッチスクリーンインターフェイスが装備されているメインコントロールユニットに結合されています。これにより、ステージの位置と動き、フォトレジストプロセスの露出パラメータを正確に制御できます。SOLITEC 5110には、ポジティブマテリアルとネガティブマテリアル、デュアルレイヤー素材など、さまざまなフォトレジスト素材が用意されています。それはまた0。2から1600秒まで及ぶさまざまな露出の時間、また手動および自動パターン化を可能にします。さらに、あらかじめプログラムされたカーブバイアス制御ツールを備えており、フォトレジストが均等にあらかじめ露出されるようにします。注釈アセットを使用すると、露出プロセス中にパターンに正確かつ迅速に注釈を付けることができます。この注釈モデルは信頼性が高く、データは内部メモリに保存されます。また、ウェーハアライメントや補正面アライメントなどの各種アライメント機能や、回転や露出前の登録機能も備えています。5110システムは使いやすいですが、高精度で正確です。これは、高解像度、短回転フォトレジストプロセスを必要とする人に最適なソリューションです。ユニットは完全に自動化され、信頼性が高く、プロセス全体にわたって一貫した高解像度と高品質のパターンを提供します。