中古 SOLITEC 5110 PD #9101861 を販売中

SOLITEC 5110 PDは、精密ウェーハ加工用に設計された精密フォトレジスト装置です。ユニークな3次元露出システムを備えており、小型で複雑なフォトレジストパターンの正確な露出を可能にします。ユーザーフレンドリーなグラフィカルユーザーインターフェイスを備えているため、さまざまなプロセスに簡単に使用できます。このマシンは、露出がウェーハパターンに正確にアライメントされていることを確認するデュアルデッカー光アライメントツールを備えています。高精度なズームアセットにより、細部まで正確に露出できます。また、電動フォーカシングモデルを採用しており、ウェーハ表面に自動フォーカスすることで、高精度な露出を保証します。5110 PDは高精度で信頼性が高いように設計されています。-15°Cから+50°Cまで幅広い温度設定が可能で、性能を損なうことなく、最も敏感なウェーハの処理が可能です。さらに、高度なハードウェアおよびソフトウェア機能と高度な診断機能を組み合わせることで、機器の信頼性と正確性を保証します。さらに、SOLITEC 5110 PDは独自の柔軟性を提供します。オプションのマルチターゲット露光ステーションで、ダイナミックなマルチステージ露光機能を備えています。これにより、1つのプロセスで複数の露出システムを備えたウェーハのさまざまな部分を露出することができます。ユニットに組み込まれた高解像度イメージングシステムは、高解像度の画像でフォトレジストマスクの細部をキャプチャするように設計されています。さらに、高度なウェハプロファイル測定機能を備えており、ウェハサイズ、形状、エッジ形状を正確に推定できます。結論として、5110 PDは信頼性が高く正確なフォトレジストマシンです。高度なハードウェアとソフトウェア機能を組み合わせ、ユニークで立体的な露出ツールと組み合わせることで、精密ウェーハ加工に最適です。複数の露光ステーションとダイナミックなマルチステージ露光機能により、アセットの汎用性と柔軟性が向上し、高解像度イメージングモデルにより、フォトレジストマスクの詳細なイメージングが可能になります。