中古 SOLITEC 5110-D #9270248 を販売中

SOLITEC 5110-D Photoresist Equipmentは、集積回路の作成に使用されるフォトリソグラフィーツールです。このシステムは、製造業者が正確にナノスケール構造を効率的に作成できるように設計されています。このユニットは、3チャンネル光源と高度なソフトウェアを使用して、幅広いドーピング濃度と露光時間を含むプロセス要件の複雑さに適応しています。フォトリソグラフィーシステムは、基板のフォトレジスト処理に不可欠ないくつかの部品で構成されています。光源は最初の部分であり、365 nm、 405 nm、および436 nmの3つの周波数帯域でUV光を放出する責任があります。この光は、レンズのセットによって収集され、サンプルにレチクルを使用して焦点を合わせます。レチクルはコンピュータによって制御され、基板の重要なパターンを提供する責任があります。また、電子ビームリソグラフィーツールとの併用も可能で、さらなるパターン洗練が可能です。SOLITEC 5110Dのダイレクトパターニング機能に加え、生産レベルのナノスケール構造に最適な機能が追加されています。露出とパターニングの自動シーケンスが可能で、光源を手動で調整する必要がありません。さらに、ウエハステッパーを内蔵しており、複数の基板を使用する場合の起動時間を短縮します。安全のため、このツールには緊急シャットオフスイッチも含まれています。パターニングプロセスを制御するために、洗練されたソフトウェアを使用して露光時間、強度、デューティサイクルなど、多数のパラメータを操作できます。このソフトウェアは、古典的な生産レベルのアルゴリズムに基づいており、フォトレジストプロセス全体を正確に制御できます。さらに、ソフトウェアは、基板上のレジスト層を正確に見つけるために校正することができ、ウェーハのずれによる無駄なリソースを削減します。全体として、5110-Dはマイクロおよびナノスケール構造の製造において非常に貴重なツールです。それは調節可能な3チャネルの光源であり、統合されたウェーハステッパーは生産レベルのナノ加工に適しています。付属の事故カットオフスイッチは、ユーザーに安全性を提供します。さらに、洗練されたソフトウェアは、パターニングの複雑さの多くを解決し、光源の手動調整の必要性を減らします。これは正確なパターニング機能と組み合わされて、高品質のナノ構造を製造するための理想的な選択肢となります。