中古 SOLITEC 5100 #9207415 を販売中

SOLITEC 5100はフォトレジスト加工専用の精密レジストコーティング装置です。薄膜フォトレジストのコーティングと露出において優れた均一性と再現性を提供するよう設計されており、高度な半導体デバイスの製造に最適です。堅牢なシステムは、精密な薄膜コーティングを可能にする統合フィルターホイールを備えています。フィルターホイールは、正確に制御された液体の供給と分散を可能にし、優れたフィルム均一性をもたらします。さらに、フィルターホイールは、分散中の溶媒出血を最小限に抑えるのに役立ち、基板を保護します。このユニットは、プロセスの再現性と信頼性を向上させる自動化も提供します。クローズドループマシンは、ペリスタルポンプ速度、フィルターホイールのディスペンス角度、およびフィーチャーギャップ間隔を自動的に調整します。これは、各コーティングが一貫した品質であることを保証するのに役立ちます。5100は、開発者やストリッパーソリューションなどの材料、スピンオンおよびスプレーオンフォトレジストコーティングなど、さまざまな一般的なリソグラフィ材料と互換性があります。このツールは、さまざまな粘度レベルまたは材料要件に対応するために、複数のコーティング圧力レベルをサポートしています。SOLITEC 5100は、高品質の露出プロファイルとクリアな画像を可能にする自動スキャン露光技術を搭載しています。このアセットは、ミクロンレベルの精度でも高コントラストで高解像度のフィルム画像再生を提供します。さらに、電力の最適化により、薄膜フォトレジストコーティングと露出における正確な均一性が保証されます。このモデルは、加工サイクル全体にわたって正確な温度調節を保証するために、統合された温度制御装置を備えています。さらに、安全性を向上させるために環境エンクロージャが利用可能であり、システムには基板を熱放射から保護するための冷却ジャケットを装備することができます。要するに、5100は精密薄膜フォトレジスト加工用に設計された高度なレジストコーティングユニットです。その堅牢な設計により、精密な液体供給、均一なコーティング、温度制御、および一貫した露出を可能にします。これにより、先進的な半導体デバイスの製造に最適です。