中古 SOLITEC 5100 #293590413 を販売中

SOLITEC 5100フォトレジスト装置は、マイクロエレクトロニクス業界で精密で複雑な構造を開発するために特別に設計された高性能プラットフォームです。このフォトレジストシステムは、複数のレイヤーと互換性があり、独自のデュアルビームリソグラフィーユニットを使用して、高解像度、高速、精度のナノ構造を作成します。248nmと193nmの両方のレーザー放射を使用して、目的のパターンを基板に均一に転送し、小型構造物のより迅速かつ精密な製造を可能にします。このマシンは、最大8個のウェーハ/秒の高いスループットレートを管理し、デスクトップには正確な位置決めと基板転送のための自動ウェーハ処理ツールがあります。アセットはまた、より複雑なアプリケーションのための機能を提供し、両側および水平操作をサポートしています。5100は、光電気めっきやプラズマエッチングなどの高精度な微細構造をパターン化するための最新のレジストをサポートしています。包括的なユーザーインターフェイスを備えており、プロセスのさまざまなレイヤーの迅速なセットアップ、デバッグ、視覚化を可能にします。リソグラフィープロセス全体は1つのプログラムで処理され、プロセス間の遷移時にエラーが発生する可能性を排除します。このモデルには、高解像度イメージングや過圧スキャンなどの機能が含まれており、小さな構造の正確なパターン化が可能です。これは、パターン化された特徴が鮮明で正確で再現性があることを保証する拡散光源によって達成されます。レジスト蓄熱機能は、基板全体にわたってパターンの均一性を最適化します。印刷プロセスの精度は、フォーカスと傾きを自動的に調整し、システムのパフォーマンスとアライメント精度を向上させる機器のFast Alignerによって保証されます。また、SOLITEC 5100は、フォトリソグラフィープロセスの監視と追跡をリアルタイムで可能にするプロセス制御機能を備えています。5100フォトレジストユニットは、パターニングマイクロストラクチャーに理想的な選択肢であり、その高性能性能と精度のため、さまざまな業界で使用されています。その高度な技術、使いやすいインターフェース、信頼性の高い操作は、高速かつ正確に高精度なマイクロストラクチャーを製造しようとしている企業にとって理想的な選択肢です。