中古 SOLITEC 4110 #2862 を販売中
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SOLITEC 4110は、高解像度のリソグラフィ業界向けに特別に設計されたハイエンドのダイレクトライトフォトレジスト機器です。システムは完全に自動化されており、精密機械的位置決め、熱制御、光学品質管理機能を備えています。最大12インチのサイズのフォトマスクを印刷することができ、高解像度アプリケーションに最適です。このユニットにはマイクロドライヤーモジュールが搭載されており、希望する生産基板にフォトレジストコーティングを迅速かつ均一に供給します。また、超高解像度リソグラフィを可能にするように設計されたアトムレーザースキャナを備えたハイエンドレーザービームライター機も含まれています。このツールは、最大20nmのオーバーレイで最大90nmの重要な機能を印刷できます。プログラマブルなマイクロステップドライブを搭載し、精度と柔軟性を高めています。このアセットには、スペクトルと光学の両方の品質を同時に監視するためのスペクトルイメージャも装備されています。迅速なコーティングと検査プロセスのための2次元で高速スキャンが可能です。このモデルの自動画像登録機能により、あらゆる基板で信頼性の高い結果が保証されます。また、製造プロセスの精度と制御性を高めるために設計された専用ソフトウェアも備えています。このソフトウェアを使用すると、ユーザーはレーザーのパワー、スピード、フィーチャーサイズなどのパラメータをすばやく変更できます。また、プロファイルを簡単に最適化し、保存し、他のリソグラフィープロセスで使用することもできます。このシステムは、ハイエンド光学技術と高度なソフトウェアを組み合わせ、ユーザーがより高精度のフォトマスクを効果的かつ確実に生成できるという点でユニークです。その能力は、それを石版業界のための理想的なソリューションにします。
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