中古 SOKUDO RF3 #293609630 を販売中

SOKUDO RF3は、SOKUDOが半導体製造アプリケーション向けに開発した最先端のフォトレジスト機器です。フォトレジストは、さまざまな半導体デバイスの製造に不可欠な材料です。特定の波長で光にさらされると物理的に変化するフォトポリマーの一種です。これにより、半導体表面の特定の領域を化学エッチングなどの加工工程から保護するためのマスクとして使用することができます。SOKUDO RF 3フォトレジストシステムは、半導体ウェーハにフォトレジストを正確かつ正確に適用し、サブミクロン範囲までの機能を持つ回路を作成することができます。RF3ユニットは、フォトレジストコーティング機と露出ツールの2つの主要コンポーネントで構成されています。フォトレジストコーティングアセットは、ウェハ表面にフォトレジストを適用するために使用されます。直径200mmまでのウェーハ加工が可能で、幅広いディスペンシングおよびスプレーパラメータによる精密なアプリケーション制御が可能です。これにより、ウェーハ上のコーティングの無駄と正確な均一性を最小限に抑えます。露出モデルは、フォトレジストで覆われたウェーハを光にさらすために使用されます。複雑なパターンマスクの露出を容易にする強力で自動化された機能を備え、最大のスループットを実現します。LEDとレーザー光源を組み合わせることで、X-Yの位置決めと角度調整を可能にします。これらの機能により、10 nmまでの画像解像度で、高速かつ正確な露光が可能です。RF3装置のこれら2つの主要コンポーネントを組み合わせることで、今日のデバイス技術の厳しい要件を満たす半導体ウェーハ上のサブミクロン機能の製造が可能になります。このシステムは非常に信頼性が高く、超低故障率と優れた再現性を備えているため、あらゆる高精度デバイス製造ニーズに最適です。