中古 SOCUDO RF3S #9392387 を販売中
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SOCUDO RF3Sは、ナノスタイルの集積回路を作成するために使用される製品のResist Embedded Core Evolverファミリーに含まれるフォトレジスト機器の一種です。このシステムは、化学的に増幅された正のレジスト混合物を使用するように設計されています。RF3Sは露出感度を利用して、通常の市販レジストユニットよりもはるかに細かい解像度を実現します。SOCUDO RF3Sレジストマシンの特徴は、解像度が30ナノメートルと小さい特徴、プロセス変動に対する優れた耐性、大面積イメージング用途における重要な画像反転などです。同時に、RF3Sツールは優れた線幅とエッジ直線性の解像度で滑らかなサイドウォールプロファイルも生成します。SOCUDO RF3Sアセットの露出プロセスは、深い紫外線源を備えており、マスクの特徴が露出したときに発生する可能性のある定常波を最小限に抑えるのに役立ちます。このレジストモデルは透明度が高く、より幅広い露光強度と層厚を可能にします。この機能により、デザインエンジニアは露光時間を調整してレジストレイヤーの抵抗値を求めることができます。RF3S装置は、同じ露光プロセスで複数の材料を達成することができる単層露光プロセスと二層露光プロセスの両方に使用することができます。これにより、特定の設計の抵抗プロファイルを達成する場合には、大幅な属性の柔軟性が得られます。SOCUDO RF3Sレジストシステムは、チップ製造の限界を押し広げようとするメーカーにとって最良の選択肢です。これにより、30ナノメートルという小型の機能だけでなく、比類のない一貫性を持つ精密なレジストプロファイルを実現し、維持することができます。その優れた透明性は、メーカーがチップ全体にわたって一貫した厚さを持つことを確信できることを意味します。これらの理由から、RF3Sシステムは、コンシューマーエレクトロニクスから航空宇宙および防衛まで、さまざまな産業向けの半導体チップの製造に広く使用されています。
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