中古 SITEK Semitool C225 #9397402 を販売中

SITEK Semitool C225 Photoresist Equipmentは、集積回路の製造用に設計された高度で高速なコーティングおよび開発システムです。Semitool C225は、包括的で構成可能なソフトウェアプラットフォームによって制御される高度なコーティングおよび開発プロセスを統合しています。本装置は、集積回路製造工程で使用される感光性レジスト（単層・二層タイプを含む）を多種多様にコーティングすることが可能であり、様々なサイズのウエハに対応する柔軟性を有しています。C225は安定した真空ヘッド回転ディスク機を使用して、2000rpmまでの速度でレジストをウェーハに均等に分散させます。コーティングされたウェーハは、優れたプロセス再現性を提供するように設計されたマルチゾーンのホットウォールレジスト開発モジュール（DRM）に入り、短い開発時間と高速同期を実現します。C225の高度なウェーハアライメントモジュールは、各ウェーハを正確にツールに登録し、画像を正確に配置できます。さらに、アセットは最適な画像を確保するために、調整可能なオーバーヘッドとサイドライティング露光システムを実装しています。このC225は、従来のドライエッチングやストリップなどの非標準的な開発プロセスやウェットストリップの開発が可能であり、幅広い材料に対応できます。また、ウエハー全体の露出の均一性を含む優れたレジストフィルム品質だけでなく、オペレーションの化学濃度領域でのピーク均一性を提供することができます。最後に、C225は、オペレータの安全を確保するために、強化された電気安全性や廃棄物処理などの安全機能の範囲を提供しています。さらに、この機器には、安全インターロック装置と、安全な環境内での動作を可能にするシステム診断機能が含まれています。全体的に、C225は高機能、技術的に高度なフォトレジストユニットであり、高精度で一貫した開発と集積回路のコーティングのために設計されています。機械の直感的で構成可能なソフトウェアプラットフォームとさまざまな安全機能により、品質の結果とオペレータの安全性の両方が保証されます。