中古 SITE SERVICES Tractrix XP #9194176 を販売中

SITE SERVICES Tractrix XPは、半導体製造施設に革新的で費用対効果の高い露光ソリューションを提供するために設計された、高度で自動化されたフォトレジスト機器です。Tractrix XPは、生産コストを削減するために最適化された高精度、再現性、およびプロセス効率を提供します。このシステムは、基板処理モジュールと露出モジュールで構成されています。基板処理モジュールは、基板の組込み加工を極めた精度で行えるように設計されています。最先端の機械的堅牢なモジュールは、2つの高速ステージを備えており、XY変換、回転、リニアまたはピボットウェハアライメント動作を実行できます。このモジュールは、最高0。001度の精度レベルと最大0。01度の再現性を保証し、フォトリソグラフィープロセスにおけるフォトマスクの正確なアライメントと登録を可能にします。この露光モジュールは、紫外線を基板に適用するための包括的な照射源です。ベル型統合チャンバーを採用し、レンズの歪みをさらに低減し、精度と再現性を向上させています。SITE SERVICES Tractrix XPは、高度なミラーとリフレクターを搭載し、基板に正確な紫外線を供給します。ソースは調整可能で、特定のプロセス要件を満たすために必要なレベルの分解能と強度で設定できます。Tractrix XPには、環境制御機械、スプレー冷却ツール、安全センサー、キャリブレーション資産など、さまざまな利点があります。このモデルはまた、その汎用性をさらに拡大するいくつかの他の自動システムと互換性があるように設計されています。結論として、SITE SERVICES Tractrix XPは最先端のフォトリソグラフィ機能を提供し、費用対効果の高い正確なフォトリソグラフィープロセスを可能にします。高い精度、再現性、および他のシステムとの互換性により、あらゆる半導体製造設備に最適です。