中古 SIPREL TR 15 #9287735 を販売中

製造業者
SIPREL
モデル
TR 15
ID: 9287735
Spin coater Power requirements: Single phase, 110V.
SIPREL TR 15は、マイクロエレクトロニクスおよびMEMSデバイスの開発に使用される特殊なフォトレジスト技術です。この技術は、強力で耐薬品性に優れ、高性能な感光性樹脂と先進的な開発ソリューションを組み合わせて構成されています。TR 15に使用される感光性樹脂には、独自の添加剤と放射線感受性化合物が配合されています。ドライエッチング性に優れ、ほとんどの基板への接着性に優れ、露光工程中の収縮や紫外線反射が少ない。この樹脂の主な特徴は、高い接着性と放射線への曝露です。これにより、フォトレジスト装置は、さまざまな種類の高性能マイクロエレクトロニクスアプリケーションでの使用に適しています。SIPREL TR 15フォトレジストシステムは、暖かいDI水、IPA、およびNMPを含む多くの一般的な開発溶媒と互換性があります。フォトレジストは、アルコール、石油蒸留物、アルカリなど、幅広い不揮発性化学物質に抵抗します。紫外線に敏感で腐食抑制剤を含まない開発者ソリューションは、表面摩耗を最小限に抑えて高速かつ高解像度の開発を提供するために策定されています。フォトレジストは、ほとんどの標準的な閾値曲線と互換性があり、フッ化水素酸や硫酸などのほとんどの種類の酸に抵抗します。また、高アスペクト比で信頼性の高いリソグラフィ性能を発揮するように設計されています。フォトレジストマシンは幅広い製造プロセスに対応していますが、高温やストレスなどの極限環境でも優れた性能を発揮します。フォトマスクの互換性に関しては、TR 15フォトレジストは正と負のフォトマスクパターンで動作するように設計されています。用具からの結果は使用される放射線の頻度か適量にもかかわらず一貫しています。さらに、アセットは、UV光の異なる強度にさらされたときの接着性とより良い解像度を提供します。全体として、SIPREL TR 15は、高性能フォトレジストシステムを必要とするアプリケーションに最適です。この技術は、優れた分解能、耐放射線性、ドライエッチング抵抗、および接着性、ならびに幅広い基板および化学処理との互換性を提供します。その結果、このモデルは多くのマイクロエレクトロニック、MEMS、およびその他の製造アプリケーションで広く使用されています。
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