中古 SICAM ETF / 500 #9069977 を販売中
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ID: 9069977
ヴィンテージ: 2009
Lab coating dryer line
Unwind station with tension control
(1) High efficiency single drum dryer
(2) Position let off device
Tandem 2-roll surface, take up 30" Wide
Control panel with Inlet temp
Oven temp
Outlet temp
440 V, 60 Hz, 3-Ph
2009 vintage.
SICAM ETF/500は、高性能で低コストの液浸フォトレジスト装置です。高度な統合アプリケーションのリーディングテクノロジーの1つとして、1ミクロンレベルの仕様をはるかに下回る優れたライン幅と機能定義を提供します。ETF/500には3つのコンポーネントモジュールが装備されています。開発者、活性化された開発者およびdetackifier。開発者は、フォトレジスト層を介したエッチングに最適なエッチング速度を提供します。活性化された開発者は、フォトアクティベータを含まないレジストを介してエッチングするための追加のエッチングレートを提供します。次に、デタッキファイヤーを使用して、レジストが開発された後に通常残る粘着性の残留物を除去します。このシステムは、温度と湿度のドリフトを排除するように設計されています。フォトレジストのプロセスは5つの段階から成っています;コーティング、ベーキング、露出、開発および乾燥。SICAM ETF/500は、プロセス全体にわたって最適なレジストプロファイル、接着、プロファイル制御を提供します。この製品は、ユーザーが25ミクロンまでの厚さ範囲で混合技術基板をコーティングすることができます。ETF/500はまた、超低残留応力レベルを提供し、ディメンシン制御の最高精度を保証します。その優れたエッチング性能に加えて、シーケンシャルマルチステージプロセスにより、SICAM ETF/500で優れた異方性エッチングを実現します。5ボルトで毎分500ミクロンまでのエッチング速度で、非常に薄い基板に複雑な形状をエッチングすることができます。マシンのマルチポートデザインは、リードされたアイテムだけでなく、非鉛アイテムの広い範囲を可能にします。露出ヘッドは、スポットサイズの正確な焦点と配置のためにも調整可能です。ETF/500には、耐久性の高いデリバリーツールが装備されています。アセットに使用されるデリバリー液は、破断に強い耐性があり、粒子除去を高め、優れた接着性を確保するためのクリーンな化学供給モデルを提供します。また、汚染を最小限に抑えるように設計されています。すべてのコンポーネントには、レジストに接触する不要な粒子を除去するエアフィルターが装備されています。SICAM ETF/500は信頼性が高く、使いやすいです。すべてのプロセスで高い信頼性を提供し、ダウンタイムを最小限に抑えることができます。システムはまた、ユーザーのアプリケーションへの完全な統合を確実にするために、包括的なアクセサリの範囲によってサポートされています。ETF/500は、中小規模の生産要件に最適です。
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