中古 SHOWA SFE-6130D #9020782 を販売中

SHOWA SFE-6130Dフォトレジスト装置は、電子部品を開発、パターン化、エッチングするために設計された、完全に自動化された統合されたマルチステージプロセスであり、様々なアプリケーションのための統合されたマイクロサーキットを作成します。このシステムは、電気化学、熱および化学プロセスの組み合わせを利用して、超微細で高分解能のマイクロストラクチャーを作成します。SFE-6130Dは光源、マスキング/照明ユニット、フォトレジストプリントヘッド、開発者、検査官、メディア（エッチング・メディア）プロセッサで構成されています。マスキング/照明ユニットには、光源からの光を光学ステージに取り付けた電子部品に正確に集中させる精密光学系が含まれています。フォトレジストプリントヘッドは、電子部品の領域を選択的にパターン化するために、光に敏感な材料（フォトレジスト）を適用します。フォトレジストを塗布すると、照らされていない部分の溶解度（エッチング性）を低減するために、あらかじめ焼成され、紫外線にさらされます。その後、開発者はフォトレジストの非照明領域を削除するために使用され、望ましい領域だけが露出されます。フォトリソグラフィックパターンの品質を検証するために、インスペクターは通常、欠陥やその他の欠陥のパターンを検査するために使用されます。最後のステップは、電子部品から不要な材料をエッチングし、望ましい微細構造を作成することです。このステップのために、エッチングメディアプロセッサは、化学的に不要な材料をエッチングするために使用される塩酸などのエッチングソリューションを提供します。また、オプションのポストエッチング乾燥ステーションと表面洗浄および仕上げのための表面調整機を提供します。全体的に、SHOWA SFE-6130Dフォトレジストツールは、堅牢な公差と高解像度を維持しながら、信頼性の高い高品質な電子部品の生産のために設計されています。フォトリソグラフィープロセスにより、設計の柔軟性が向上し、生産効率が向上し、製造コストが削減されます。この資産はまた、最先端の統合プロセスモデルを通じて、自動化されたプロセスの付加的な利点を提供します。